Influence des effets de température quasi-statiques du premier ordre sur les dispositifs à ondes de surface transverses sur sillons gravés

(Reçu le 30 juin, accepté le 24 octobre 1994)

Abstract
The present study is devoted to the theoretical calculation of the first order quasi-static temperature coefficient of surface transverse waves which can propagate under shallow groove gratings. The model presented here associates an analytical description of non-perturbed surface transverse waves on an anisotropic substrate developed by Auld and Tiersten's perturbation method. This approach has been implemented in the case of quartz delay lines corrugated with rectangular grooves. It is shown that singly rotated quartz cuts can be theoretically found exhibiting a first-order temperature coefficient close to zero. The sensitivity of this coefficient versus the groove depth is also theoretically demonstrated.

Résumé
La présente étude consiste à calculer le coefficient de température du premier ordre d'un résonateur à ondes transverses de surface se propageant sous un réseau de sillons gravés de forme quelconque. Ce calcul fait intervenir un modèle analytique de propagation des ondes sur un substrat anisotrope développé par Auld et une méthode de perturbation mise au point par Tiersten. Cette approche théorique a été mise en oeuvre pour traiter le cas des dispositifs à sillons gravés de profil rectangulaire sur quartz. On montre ainsi qu'il existe des coupes de quartz à simple rotation présentant un coefficient de température du premier ordre théorique proche de zéro. L'influence de la profondeur de gravure des sillons sur ce coefficient est également mise en évidence théoriquement.