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J. Phys. III France
Volume 4, Numéro 9, September 1994
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| Page(s) | 1523 - 1531 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/jp3:1994219 | |
J. Phys. III France 4 (1994) 1523-1531
Use of Fourier transfoim in grazing X-rays reflectometry
F. Bridou1 and B. Pardo21 Institut d'Optique, L.A. 14 du CNRS, Centre Universitaire, Bât 503, B.P. 147, 91403 Orsay Cedex, France
2 Institut d'Optique et Université P. et M. Curie, 4 place Jussieu, 75252 Paris Cedex 05, France
(Received 19 November 1993, revised 3 February 1994, accepted 3 March 1994)
Abstract
Grazing X-ray reflectometry allows the analysis of thin layer stacks. The fitting of the reflectivity curve by a trial and
error method can be used in order to determine the parameters of the films. Fourier analysis of the experimental reflectivity
can directly give a rough determination of the profil index. Application to real examples shows the validity of the method.
Résumé
La technique de réflectométrie en rayons X rasants permet l'analyse d'empilements de couches minces. L'ajustement de la courbe
de réflectivité par une méthode d'essai et erreur permet de déterminer les paramètres de ces couches. L'analyse de Fourier
de la courbe de réflectivité expérimentale peut donner directement une idée du profil d'indice de l'empilement.
A partir d'exemples réels, on montre la validité de la méthode.
© Les Editions de Physique 1994